華海清科離子注入機交付國內(nèi)先進存儲龍頭企業(yè)

每日經(jīng)濟新聞 2026-05-06 09:31:29

每經(jīng)AI快訊，據(jù)華海清科官微5月6日消息，近日，華海清科全資子公司芯崳半導體（上海）有限公司自主研發(fā)的12英寸大束流離子注入機iPUMA-LE成功交付國內(nèi)先進存儲領域龍頭企業(yè)。公司表示，這是繼此前該裝備批量交付多家集成電路制造頭部企業(yè)后，華海清科離子注入系列裝備在存儲芯片領域的又一重要進展。

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