截至2026年3月27日 13點18分，半導體設備午后漲幅擴大，科創(chuàng)半導體ETF華夏（588170）上漲3.14%，半導體設備ETF華夏（562590）上漲2.57%。規(guī)模方面，科創(chuàng)半導體ETF華夏近1年規(guī)模增長75.13億元，實現顯著增長，新增規(guī)模領先同類；半導體設備ETF華夏最新規(guī)模達24.33億元。

熱門個股方面，歐萊新材上漲9.65%，先鋒精科上漲9.62%，安集科技上漲8.67%，中船特氣，和林微納等個股跟漲。

國泰海通證券認為，受益于大型云廠商及AI初創(chuàng)公司對算力基建的持續(xù)投入，以臺積電為代表的晶圓廠5nm以下先進制程連續(xù)漲價，同時加速減產8英寸成熟產線；供給側的主動收縮疊加原材料價格高位震蕩，被迫推升了成熟制程的價格中樞。這將推動代工企業(yè)積極擴產，利好上游設備等產業(yè)鏈。

相關ETF：科創(chuàng)半導體ETF華夏（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）：跟蹤指數是科創(chuàng)板唯一的半導體設備主題指數，其中先進封裝含量在全市場中最高（約50%），聚焦于科技創(chuàng)新前沿的硬核設備公司。

半導體設備ETF華夏（562590）及其聯接基金（A類：020356；C類：020357）：跟蹤中證半導體材料設備主題指數，其中半導體設備的含量在全市場指數中最高（約63%），直接受益于全球芯片漲價潮。