昊華科技：現(xiàn)有三氟化氮產(chǎn)能5000噸/年應(yīng)用于集成電路制造的蝕刻、清洗等環(huán)節(jié)

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2025-11-25 17:33:42

每經(jīng)AI快訊，11月25日，昊華科技在互動(dòng)平臺表示，公司現(xiàn)有三氟化氮產(chǎn)能5000噸/年，公司正在四川自貢沿灘基地新建6000噸/年三氟化氮項(xiàng)目，項(xiàng)目一期3000噸裝置已投產(chǎn)。公司三氟化氮產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路制造的蝕刻、清洗等環(huán)節(jié)。

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